MKS AX7690LAM-23 RPS MKS Revolution RPS AX7690 遠(yuǎn)程等離子源

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公司名稱 江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司
品牌 MKS/美國(guó)
型號(hào) MKS AX7690LAM-23 RPS
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
更新時(shí)間 2023/11/22 17:24:40
訪問次數(shù) 1727

產(chǎn)品標(biāo)簽

RPS遠(yuǎn)程等離子源腔體清潔 MKS RPS 刻蝕 Revolution AX7690LAM

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公司介紹 主營(yíng)產(chǎn)品

神州科技是中國(guó)地區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)線電源系統(tǒng)服務(wù)廠商,位于江蘇省揚(yáng)州市維揚(yáng)開發(fā)區(qū),現(xiàn)有員工300人,工程師230人,模擬測(cè)試線20條，已建成完整全面的高精度,高功率：直流、射頻、微波、網(wǎng)絡(luò)匹配器、遠(yuǎn)程等離子發(fā)生器等綜合測(cè)試平臺(tái)，是國(guó)家火炬計(jì)劃項(xiàng)目《等離子電源研發(fā)，應(yīng)用平臺(tái)建設(shè)》承接單位。公司業(yè)務(wù)遍及亞洲，于日本、新加坡、韓國(guó)分設(shè)辦事處。

神州科技為芯片產(chǎn)線，光伏產(chǎn)線，液晶面板制造產(chǎn)線，工業(yè)玻璃鍍膜產(chǎn)線，LED新光源產(chǎn)線，以及醫(yī)療、科研真空，各類高科技產(chǎn)業(yè)等離子系統(tǒng)提供電源系統(tǒng)的維修，備件支持，設(shè)備租憑服務(wù)。神州團(tuán)隊(duì)嚴(yán)謹(jǐn)創(chuàng)新，高效熱誠(chéng)，服務(wù)世界半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。

展開

電源維修，二手電源設(shè)備銷售，直流電源，射頻電源，脈沖電源，自動(dòng)網(wǎng)絡(luò)匹配器，遠(yuǎn)程等離子發(fā)生器，分子泵離子泵，干泵冷泵

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

品牌	MKS	型號(hào)	AX7690LAM-23
P/N	685-045803R023	狀態(tài)	Refurbished

MKS Revolution RPS AX7690 遠(yuǎn)程等離子源提供半導(dǎo)體晶圓加工所需的高性能和清潔的反應(yīng)氣體源。創(chuàng)新的 R*evolution 是專門為“onwafer”應(yīng)用設(shè)計(jì)的遠(yuǎn)程等離子體源新系列中的產(chǎn)品，它結(jié)合了 MKS 經(jīng)現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的低場(chǎng)環(huán)形等離子體技術(shù)和強(qiáng)大的等離子體施加器設(shè)計(jì)，可產(chǎn)生超潔凈的原子中性粒子或部首。

原子自由基在許多工藝中都是十分重要的，例如光刻膠去除、晶圓預(yù)清洗以及薄膜氮化和氧化。自由基通常是通過產(chǎn)生等離子體而產(chǎn)生的。然而，相關(guān)的帶電粒子有時(shí)是不受歡迎的。為了避免這些不利影響，在外部產(chǎn)生等離子體并將自由基有效地輸送到處理室。

MKS Revolution RPS AX7690 遠(yuǎn)程等離子源 反應(yīng)氣體發(fā)生器將石英真空室、射頻電源和所有必要的控制裝置集成到一個(gè)緊湊、獨(dú)立的單元中，以便輕松直接安裝在工具的處理室上。其結(jié)果是獲得極其清潔的原子自由基源，從而在晶圓上產(chǎn)生所需的反應(yīng)，同時(shí)大大降低了復(fù)雜性。R*evolution 遠(yuǎn)程等離子體源可提供高達(dá) 6 kW 的等離子體功率，為工藝提供高自由基流量（高達(dá) 5 slm），從而使剝離或蝕刻速率比傳統(tǒng)微波系統(tǒng)快兩倍。由于其效率高且成本較低，R*evolution 遠(yuǎn)程等離子體源可顯著降低總體投資和工具運(yùn)營(yíng)成本。此外，其較小的尺寸和簡(jiǎn)單的設(shè)計(jì)有利于用戶輕松安裝、操作和維護(hù)。