HSSM-GR（8/12)激光掃描共聚焦顯微鏡四振鏡掃描模塊包含一個共振掃描反射鏡和三個振鏡掃描反射鏡，分別可以使入射激光束在X軸和Y軸方向偏移。共振掃描反射鏡以共振頻率驅動，能夠實現(xiàn)比振鏡系統(tǒng)更高的掃描速度。具有常規(guī)掃描模式和高速掃描模式兩種模式。

在常規(guī)掃描模式時，激光掃描共聚焦顯微鏡四振鏡掃描模塊采用三振鏡的設計，與傳統(tǒng)的雙振鏡掃描頭相比，具有更小的掃描畸變和更好的均勻性，可以滿足高精度的掃描需求。

在高速掃描模式時，激光掃描共聚焦顯微鏡四振鏡掃描模塊的共振振鏡和振鏡通過電動切換，由兩個y掃描振鏡和一個用于x方向的共振振鏡組成。這樣的組合能夠在非常高的線頻率下掃描，適用于對實時成像要求較高的應用。

主要特點：

l  常規(guī)模式和高速模式可切換

l  掃描速度：32fps@512X512

l  分辨率：8192X8192

l  掃描范圍：振鏡±10°，共振振鏡±10°@8KHz，±5°@12kHz

l  共振掃描頻率：8kHz&12kHz可選