寫作表現(xiàn)

小特征尺寸 [μm]

0.5

0.8

小行數(shù)和間距 [μm]

0.8

1.2

地址網(wǎng)格 [nm]

4

8

邊緣粗糙度 [3σ， nm]

30

40

CD均勻度 [3σ， nm]

50

60

2鼈層對(duì)齊（全局）[nm]

100

130

寫入速度 [mm2/分鐘]

340*

1020*

*快速模式：680 和 2056 mm2/min，具有相似的性能，但沒(méi)有規(guī)格

100 x 100 mm 的曝光時(shí)間2面積 [min]

39

17

光源

355 nm 的高功率 DPSS 激光器

大基板尺寸和寫入面積

300 x 300 毫米2

基板厚度

0 至 12 mm （可根據(jù)要求提供其他厚度）

大曝光面積

300 x 300 毫米2

自動(dòng)對(duì)焦

實(shí)時(shí)自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)（光學(xué)和氣動(dòng)）

自動(dòng)對(duì)焦補(bǔ)償范圍

高達(dá) 80 μm

流量箱

（閉環(huán)）溫控環(huán)境試驗(yàn)箱

對(duì)準(zhǔn)和計(jì)量

用于測(cè)量和對(duì)準(zhǔn)的相機(jī)系統(tǒng)和軟件包

其他功能和選項(xiàng)

100、150、200 和 300 mm 晶圓的全自動(dòng)處理和預(yù)對(duì)準(zhǔn)。光學(xué)邊緣檢測(cè)、頂部對(duì)準(zhǔn)以及可選的紅外和背面對(duì)準(zhǔn)。Zerodur® 載物臺(tái)和高分辨率差分干涉儀

系統(tǒng)尺寸

系統(tǒng) / 電子機(jī)架

寬度 [mm]

2605 / 800

深度 [mm]

1652 / 650

高度 [mm]

2102 / 1800

重量 [kg]

3550 / 180

安裝要求

電氣

400 VAC ± 5 %， 50/60 Hz， 16 A， 3 相

壓縮空氣

6 - 10 巴