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KS-S150-6ST 去膠機

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光阻去除掩膜版清洗

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項，軟件著作權 14 項，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述

用于封裝域中的光阻去除工藝，掩膜版清洗，OLED 域中的光阻去除及蒸鍍后金屬剝離等工藝及化合物半導體域中的光阻去除及蒸鍍后金屬剝離等工藝。                                           

2. 產(chǎn)品優(yōu)勢：

1.自主IP的雙真空雙夾持四手高速機械手，產(chǎn)能高，干濕分離無交叉污染
2. 具有AWC高效圖像對中功能
3.采用可多片兼容不同尺寸、不同角度的浸泡系統(tǒng)
4.閉環(huán)控制高壓管路系統(tǒng)，可實現(xiàn)目標值±0.2MPa的控壓精度
5.自主IP的耐高壓在線式加熱器，可達到國際加熱器同等控溫
6. 工藝單元采用主動夾持Chuck，可避免晶背劃傷及晶圓側翻
7.去膠液可自動回收，循環(huán)使用

3. 應用域：

封裝

OLED 域






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