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EBIC-RCI EBIC Amplifier

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公司介紹:
溪拓科技(XTG-TECH)是一家專業(yè)的實驗室儀器設(shè)備服務(wù)商。專注于生命科學(xué),納米科學(xué),遠程監(jiān)控,蛋白結(jié)晶,口腔材料等前沿領(lǐng)域。

XTG提供歐美先進的儀器設(shè)備,同時研發(fā)相關(guān)領(lǐng)域的國產(chǎn)儀器。主營品牌:英國seward,美國nightsea,美國Wagner,德國Kleindiek,德國Brand,德國MRC,美國biospherix,德國rumed,中國凱奧等。

XTG擁有一支專業(yè)團隊。希望以我們的熱情,不懈的努力,專業(yè)技能為我們的客戶提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)



Kleindiek微納米操縱儀,Kleindiek Nanoprobing系統(tǒng),Rumed蛋白結(jié)晶生長箱,Trikinetics 果蠅行為監(jiān)測系統(tǒng),MRC 核磁兼容相機,MRC Pinprick痛覺刺激器,英國BFK 果蠅視頻監(jiān)控系統(tǒng),

EBIC Amplifier用于對半導(dǎo)體樣品,器件,微納結(jié)構(gòu)可進行EBIC,EBAC,RCI,EBIV和EBIRCH分析。通過MM3A/MM4將探針精確定位到探測位置,信號通過弱電流測量屏蔽套件(LCMK)傳輸?shù)絊EM/FIB視頻輸入端,并通過SEM/FIB成像。

配置:

  • EBIC  Amplifier + MM3A-EMs + LCMK

  • EBIC  Amplifier + Prober Shuttle

EBIC Amplifier應(yīng)用領(lǐng)域:

  • 無損失效分析

  • IC開路探測

  • PN結(jié)觀測

  • 電阻變化定位

技術(shù)參數(shù):

  • 最小電流測量:15Fa

  • 增益:105 to 1012 V/A

  • 帶寬:400Khz

  • AC/DC 兩種放大模式

  • 輸入電流補償

  • 圖像反轉(zhuǎn)模式

前道工序(front-end-of-line:FEOL)中微縮晶體管,以及在中間工序(Middle-of-line:MOL)和后道工序(back-end-of-line:BEOL)中改進觸點和連線則變得越來越困難。

FEOL涵蓋了芯片有源部分的加工,即位于芯片底部的晶體管。晶體管作為電氣開關(guān),使用三個電極進行操作:柵極、源極和漏極。源極和漏極之間的導(dǎo)電通道中的電流可以被“開”和“關(guān)”,這一操作由柵極電壓控制。

BEOL是加工的最后階段,指的是位于芯片頂部的互連。互連是復(fù)雜的布線方案,它分配時鐘和其他信號,提供電源和地,并將電信號從一個晶體管傳輸?shù)搅硪粋€晶體管。BEOL由不同的金屬層、局部(Mx)、中間線、半全局線和全局線組成??倢訑?shù)可以多達15層,而Mx層的典型數(shù)量在3~6層之間。這些層中的每層都包含(單向)金屬線(組織在規(guī)則的軌道中)和介電材料。它們通過填充有金屬的通孔結(jié)構(gòu)垂直互連。

FEOL和BEOL由MOL聯(lián)系在一起。MOL通常由微小的金屬結(jié)構(gòu)組成,作為晶體管的源極、漏極和柵極的觸點。這些結(jié)構(gòu)連接到BEOL的局部互連層。雖然單元尺寸在微縮,但要連接到的引腳數(shù)量大致不變,意味著接觸它們的難度更大。



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