AtomMax 晶圓級(jí)原子力顯微鏡
參考價(jià) | ¥1200000.00 |
- 公司名稱 致真精密儀器(青島)有限公司
- 品牌致真
- 型號(hào)AtomMax
- 所在地青島市
- 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間2025/6/17 9:19:13
- 訪問次數(shù) 72
按產(chǎn)品配置 | 1200000.00元 | 9999999 套可售 |
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 100萬-150萬 |
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樣品尺寸 | 8寸晶圓并向下兼容mm | 樣品臺(tái)移動(dòng)范圍 | 100 μmx100 umx10 μm 掃描范圍mm*mm |
儀器種類 | 原子力顯微鏡 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥 |
產(chǎn)品介紹
致真精密儀器-晶圓級(jí)原子力顯微鏡AFM利用微懸臂探針結(jié)構(gòu)可對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣品等固體材料進(jìn)行三維樣貌表征,可實(shí)現(xiàn)大晶圓級(jí)大樣品形貌表征。電動(dòng)樣品定位臺(tái)與光學(xué)圖像相結(jié)合,可在 300X300 mm 區(qū)域?qū)崿F(xiàn)1 um的定位精度,激光對(duì)準(zhǔn),探針逼近和掃描參數(shù)調(diào)整,自動(dòng)化操作。
設(shè)備性能
樣品尺寸 :8寸晶圓并向下兼容
掃描范圍:100 um x100 μm x10 μm
掃描角度:0-360°
分辨率:Z軸閉環(huán)分辨率0.15nm;X/閉環(huán)分辨率0.5nm
掃描探針XY方向圖像分辨率:不小于32x32~4000x4000
工作模式:接觸模式、輕敲模式、相位成像模式、抬起模式多向掃描模式
多功能測(cè)量:靜電力顯微鏡(EFM)、掃描開爾文顯微鏡(KPFM)壓電力顯微鏡(PFM)、磁力顯微鏡(MFM)