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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>光學(xué)儀器及設(shè)備>電子顯微鏡>掃描探針顯微鏡SPM(原子力顯微鏡AFM)>AtomMax 晶圓級(jí)原子力顯微鏡

AtomMax 晶圓級(jí)原子力顯微鏡

參考價(jià)1200000.00
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

原子力顯微鏡AFM大樣品原子力

規(guī)格
按產(chǎn)品配置1200000.00元9999999 套可售

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致真精密儀器有限公司是以科研儀器、教學(xué)儀器、集成電路產(chǎn)線測(cè)試設(shè)備研發(fā)與生產(chǎn)為主要業(yè)務(wù)的企業(yè)、山東省瞪羚企業(yè)、國(guó)家專精特新“小巨人”企業(yè)。在中國(guó)集成電路制造行業(yè)迅速發(fā)展、芯片研發(fā)和制造環(huán)節(jié)各類設(shè)備亟需自主可控的背景下,致真精密儀器通過自主創(chuàng)新、產(chǎn)學(xué)研合作及成果轉(zhuǎn)化、行業(yè)資源整合等手段對(duì)國(guó)內(nèi)尚未實(shí)現(xiàn)自主研發(fā)能力的相關(guān)儀器設(shè)備展開工程攻關(guān)。
  自 2019 年成立以來,公司已經(jīng)匯聚各類人才百余人,打造了光、電、精密機(jī)械、測(cè)控及自動(dòng)化、軟件和算法等工種齊全的工程團(tuán)隊(duì),通過建設(shè)青島市集成電路測(cè)試設(shè)備專家工作站等方式,引進(jìn)專家級(jí)人才若干。公司在北京和杭州設(shè)有子公司。
  目前,公司面向廣大科研工作者和芯片產(chǎn)業(yè)對(duì)高性能高質(zhì)量自主可控設(shè)備的需求,已經(jīng)研發(fā)了一系列的相關(guān)設(shè)備,包括“原子力顯微鏡、高精度VSM、磁光克爾顯微鏡等磁學(xué)測(cè)量設(shè)備、各類磁場(chǎng)探針臺(tái)、低溫強(qiáng)磁場(chǎng)光學(xué)測(cè)量平臺(tái)、磁性芯片測(cè)試機(jī)等產(chǎn)線級(jí)設(shè)備、物理氣相沉積設(shè)備、芯片制造與應(yīng)用教學(xué)訓(xùn)練成套系統(tǒng)”等,產(chǎn)品已經(jīng)應(yīng)用于清華大學(xué)等國(guó)內(nèi)多家科研機(jī)構(gòu)和集成電路制造公司。

  致真精密儀器擁有強(qiáng)大的自主研發(fā)和創(chuàng)新能力,產(chǎn)品穩(wěn)定精良,多次助力中國(guó)科研工作者取得高水平科研成果。我們希望與更多優(yōu)秀科研工作者合作,持續(xù)提供更加專業(yè)的技術(shù)服務(wù)和完善的行業(yè)解決方案!歡迎聯(lián)系我們!


原子力顯微鏡

產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 100萬-150萬
樣品尺寸 8寸晶圓并向下兼容mm 樣品臺(tái)移動(dòng)范圍 100 μmx100 umx10 μm 掃描范圍mm*mm
儀器種類 原子力顯微鏡 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥

產(chǎn)品介紹

致真精密儀器-晶圓級(jí)原子力顯微鏡AFM利用微懸臂探針結(jié)構(gòu)可對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣品等固體材料進(jìn)行三維樣貌表征,可實(shí)現(xiàn)大晶圓級(jí)大樣品形貌表征。電動(dòng)樣品定位臺(tái)與光學(xué)圖像相結(jié)合,可在 300X300 mm 區(qū)域?qū)崿F(xiàn)1 um的定位精度,激光對(duì)準(zhǔn),探針逼近和掃描參數(shù)調(diào)整,自動(dòng)化操作。

設(shè)備性能

樣品尺寸 :8寸晶圓并向下兼容

掃描范圍:100 um x100 μm x10 μm

掃描角度:0-360°

分辨率:Z軸閉環(huán)分辨率0.15nm;X/閉環(huán)分辨率0.5nm

掃描探針XY方向圖像分辨率:不小于32x32~4000x4000

工作模式:接觸模式、輕敲模式、相位成像模式、抬起模式多向掃描模式

多功能測(cè)量:靜電力顯微鏡(EFM)、掃描開爾文顯微鏡(KPFM)壓電力顯微鏡(PFM)、磁力顯微鏡(MFM)












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