Gas Mixers氣體混配器
參考價 | ¥ 100000 |
訂貨量 | ≥1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 德國韋氏納米系統(tǒng)有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/6/24 15:53:07
- 訪問次數(shù) 186
產(chǎn)品標簽
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Gas Mixers氣體混配器是用于 SEMI-KLEEN 和 EM-KLEEN 系列遠程等離子源的氣體混配器
關(guān)于Gas Mixers氣體混配器
SEMI-KLEEN 或 EM-KLEEN 系列遠程等離子源只能接受一個氣體輸入。對于某些研究項目,用戶可能需要為 SEMI-KLEEN 或 EM-KLEEN 遠程等離子體源混合多種工藝氣體。此處列出的三端口氣體混配器集成了多達三個質(zhì)量流量受控氣體輸入端口、一個排氣/旁路泵端口和一個混合氣體輸出端口。氣體輸出端口應(yīng)連接到 SEMI-KLEEN 或 EM-KLEEN 遠程等離子清洗機上的氣體輸入端口。如果需要高純度氣體輸送,排氣/旁通泵出口提供高電導(dǎo)泵送途徑,以排空氣體管。
特征:
觸摸屏用戶界面
多達 3 個質(zhì)量流量受控的氣體輸入端口
用于通風(fēng)室和高速抽氣管的排氣/旁路端口。
不同氣體種類的流速補償
集成計時器
110~230V 通用交流電源輸入。