LAUDA Semistat 熱電式過程恒溫器
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 曦源科學(xué)儀器（上海）有限公司
- 品牌 LAUDA/勞達(dá)
- 型號(hào) LAUDA Semistat
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/6/26 15:22:10
- 訪問次數(shù) 68
聯(lián)系方式：楊二冬13062604980 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥,電氣,綜合 |
LAUDA Semistat 熱電式過程恒溫器
產(chǎn)品簡介
LAUDA Semistat 是一款基于熱電制冷（Peltier）技術(shù)的高性能熱電式過程恒溫器，專為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)。該系列設(shè)備提供 –20?°C 至 +90?°C 的溫控范圍，適用于等離子刻蝕（Plasma Etching）等高精度溫控應(yīng)用。與傳統(tǒng)壓縮機(jī)制冷系統(tǒng)相比，Semistat 系統(tǒng)能效更高、體積更小，非常適合安裝于潔凈室地板下，節(jié)省空間并降低能耗。
核心特點(diǎn)
節(jié)能環(huán)保：無壓縮機(jī)和制冷劑，能效高，能耗低。
緊湊設(shè)計(jì)：行業(yè)內(nèi)最小占地面積，適合地下安裝，節(jié)省潔凈室空間。
快速響應(yīng)：動(dòng)態(tài)溫控系統(tǒng)，溫度穩(wěn)定性高達(dá) ±0.1?K。
低液量：極低的熱傳導(dǎo)液體量，減少能量損耗。
兼容性強(qiáng)：支持多種刻蝕設(shè)備通信標(biāo)準(zhǔn)。
模塊化設(shè)計(jì)：便于現(xiàn)場維護(hù)和模塊更換。
技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào) | 工作溫度 | 最高工作溫度 | 最大加熱功率 | 20?°C 時(shí)制冷功率 | 最大泵流量（壓力） | 外形尺寸（寬×深×高） | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Semistat S 1200 | –20?°C | +90?°C | 3?kW | 1.2?kW | 18.9?L/min（0.274?MPa） | 116?×?232?×?470?mm | 25?kg |
| Semistat S 2400 | –20?°C | +90?°C | 6?kW | 2.45?kW | 同上 | 116?×?300?×?560?mm | 35?kg |
| Semistat S 4400 | –20?°C | +90?°C | 12?kW | 4.4?kW | 同上 | 194?×?300?×?560?mm | 55?kg |
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造：用于晶圓刻蝕過程中的溫控，確?？涛g質(zhì)量。
實(shí)驗(yàn)室研究：為科研設(shè)備提供精確的溫控支持。
潔凈室系統(tǒng)：節(jié)省空間并降低能耗，適合潔凈室環(huán)境。
高精度制造：滿足對溫控精度要求高的制造工藝。
采購中心
化工儀器網(wǎng)