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干涉儀是通過測量光照射到物體上時(shí)產(chǎn)生的干涉現(xiàn)象來測量物體的表面形狀、折射率、尺寸等的裝置。
干擾是指多個(gè)波疊加、相互增強(qiáng)或抵消,從而產(chǎn)生新波形的現(xiàn)象。當(dāng)多個(gè)波來自同一源頭,或具有相同或相似的頻率時(shí),干擾最為明顯。
干涉儀有多種類型,例如邁克爾遜干涉儀、馬赫-曾德爾干涉儀和斐索干涉儀。
干涉儀的主要應(yīng)用是對物體表面進(jìn)行非接觸式觀察,包括玻璃、金屬、陶瓷等平板。玻璃的例子包括智能手機(jī)的蓋玻片、液晶顯示器的玻璃、分色光學(xué)系統(tǒng)中使用的棱鏡以及半導(dǎo)體掩?;澹饘俚睦影>吆弯X盤。
此外,它還可以測量電子設(shè)備半導(dǎo)體器件中使用的硅晶片、硬盤基板等特殊材料。射電干涉儀還用于射電望遠(yuǎn)鏡的天文觀測。
主干涉儀將光源發(fā)出的光分成兩束,一束光穿過樣品后,與另一束光發(fā)生干涉。此時(shí),光路會根據(jù)穿過樣品的折射率和距離而變化,從而產(chǎn)生干涉條紋圖案。
通過分析這些干涉條紋的圖案,干涉儀可以測量樣品的表面形狀和透射波前形狀。干涉儀可以測量的最大尺寸為幾厘米到十幾厘米。如果樣品很大,則需要一些巧妙的技巧,例如將其切斷。
干涉儀既可以測量平面拋光表面,例如玻璃平板、晶圓和鏡子,也可以測量球面,例如光學(xué)透鏡、鋼球和塑料透鏡。此外,還有多軸干涉儀,可以在兩個(gè)或三個(gè)軸上進(jìn)行測量,從而節(jié)省空間,提高測量靈敏度。
激光掃描干涉儀還可以測量平面以外的表面,例如圓柱面。它們可用于測量玻璃、光纖端面、陶瓷、研磨金屬表面、注塑塑料等。干涉儀種類繁多,因此需要選擇 適合您應(yīng)用的型號。
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