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探針臺的環(huán)境控制要求:溫度、濕度與振動管理

閱讀:112      發(fā)布時間:2025-7-9
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   在半導體制造、微電子研發(fā)以及眾多高精度檢測領(lǐng)域,探針臺作為關(guān)鍵設(shè)備,其性能的穩(wěn)定性和測量的準確性對實驗結(jié)果和產(chǎn)品質(zhì)量有著至關(guān)重要的影響。而溫度、濕度與振動等環(huán)境因素,會直接影響它的運行狀態(tài)和測試結(jié)果,因此對這些環(huán)境因素進行嚴格控制是確保正常工作的必要條件。
 
  溫度控制
 
  探針臺的溫度控制至關(guān)重要。一般來說,它的工作環(huán)境溫度應保持在18℃~28℃之間,推薦的最佳溫度范圍是23℃±1℃。溫度過高可能會導致設(shè)備內(nèi)部元件過熱,影響其性能和壽命;溫度過低則可能使某些部件因低溫而無法正常工作。此外,溫度的劇烈變化也會對探針臺產(chǎn)生不利影響,因此在工作過程中,應盡量避免溫度的快速波動,確保溫度的穩(wěn)定性。
 
  濕度管理
 
  濕度對它的影響同樣不容忽視。它的運行環(huán)境濕度應控制在30%~60%RH。濕度過高容易導致設(shè)備內(nèi)部出現(xiàn)凝露現(xiàn)象,從而引發(fā)短路等故障,影響設(shè)備的正常運行;而濕度過低則會使空氣過于干燥,容易產(chǎn)生靜電,對它的精密部件造成損害。因此,當環(huán)境濕度低于30%時,應使用濕度控制器將濕度維持在50%~60%的范圍內(nèi)。同時,應避免將它放置在靠近水源或通風口等濕度變化較大的地方。
 
  振動管理
 
  振動是影響精度和穩(wěn)定性的另一個重要因素。它對振動的敏感度較高,振動可能會導致探針與樣品接觸不良,影響測量結(jié)果的準確性。因此,應放置在穩(wěn)定、防震的工作臺上,最好配備防震裝置。一般來說,它的振動要求如下:
 
  -2-6Hz:加速度0.115cm/S²以下
 
  -6-10Hz:加速度0.064cm/S²以下
 
  -10-20Hz:加速度0.192cm/S²以下
 
  -20-90Hz:加速度0.128cm/S²以下
 
  -90-2000Hz:加速度0.288cm/S²以下
 
  此外,應遠離振動源,如大型機械、空調(diào)出風口等。如果探針臺安裝在樓上,應盡量選擇一樓,因為一樓的振動條件通常優(yōu)于樓上。

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