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使用高低溫真空探針臺的實驗附件及常規(guī)測試步驟

來源:南京譜量光電科技有限公司   2024年01月12日 10:54  
高低溫真空探針臺應用領域:
半導體材料光電檢測,功率器件測試,MEMS測試,PCB測試,液晶面板測試,測量表面電阻率測試,精密儀器生產(chǎn)檢測,航空航天實驗室。
高低溫真空探針臺又稱探針測試臺,主要用途是為半導體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺,探針臺可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個可調(diào)測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對材料、芯片等進行科研實驗分析,抽查測試等用途。
探針臺結(jié)構小巧,功能實用,成本較低的簡易式探針臺,在滿足基本測試功能基礎上,去除了非必要得部件,該探針臺系統(tǒng)包含:光學成像部分,隔振平臺探針座,四維調(diào)整載片臺(Chuck),真空吸附系統(tǒng);譜量光電可以根據(jù)客戶應用搭建探針臺,以達到更好得使用效果和性價比。
實驗附件及常規(guī)測試步驟:
光學隔振平臺(臺面>600mm*600mm),一臺計算機(標準VGA接口和USB3.0接口)吉時利2400數(shù)字源表(含軟件)等測試時連接探針臺和數(shù)字源表,探針接被測物體,通過顯微鏡觀察確定兩根探針是否緊貼被測物表面,待連接導通后打開源表軟件,選好參數(shù)即可出該觸點的I-V性能曲線。
 

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