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Vaccoat手套箱用雙靶渦輪泵濺射鍍膜機和熱蒸發(fā)器DST2-TG

來源:深圳秋山工業(yè)設備有限公司   2024年05月20日 17:41  

Vaccoat手套箱用雙靶渦輪泵濺射鍍膜機和熱蒸發(fā)器DST2-TG


DST2-TG 是一款雙靶渦輪泵濺射鍍膜機,配有供手套箱使用的熱蒸發(fā)器,是一種多真空鍍膜機系統(tǒng),將熱蒸發(fā)器和濺射鍍膜機結合在一個緊湊的桌面系統(tǒng)中,并通過 Wi-Fi 連接進行遠程系統(tǒng)控制,可通過觸摸屏和PC控制。

高真空系統(tǒng)適用 于多種材料的沉積。雙磁控靶臺式濺射鍍膜機可以在 蒸發(fā) 和 濺射沉積之間輕松切換 ,以制備多層涂層。

DST2-TG磁控臺式濺射鍍膜機是高精度半/全自動真空鍍膜系統(tǒng),配備大室(直徑300毫米)和兩個2英寸直徑水冷陰極,適合長時間沉積。該系統(tǒng)是用于濺射、碳纖維和金屬蒸發(fā)的單一平臺。磁控臺式濺射鍍膜機可以濺射半導體、電介質和金屬靶材。濺射陰極和熱蒸發(fā)船可以安裝在一起或互換安裝,總共可以使用三個沉積源(下訂單時)。利用碳纖維也可以實現(xiàn)碳沉積。

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大室(直徑 300 毫米,高度 20-25 厘米)適合大型樣品沉積

電動升降臂可在真空室中上下移動

兩個 2” 水冷濺射陰極

兩個石英晶體傳感器(1 nm 精度)用于實時厚度測量

安裝在手套箱上的 KF40 饋通件,用于電源(直流、射頻和高電流 (HC))、真空泵軟管、水冷卻和氬氣/反應氣體連接以及電氣連接

兩臺精密質量流量計 (MFC),用于精確控制真空和壓力

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