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線性壓電納米位移臺的組成

來源:北京中顯恒業(yè)儀器儀表有限公司   2024年05月28日 16:37  
線性壓電納米位移臺主要由以下幾個部分組成,這些部分共同協(xié)作以實現(xiàn)納米級精度的位移控制:
壓電陶瓷驅(qū)動源:
原理:壓電陶瓷是位移臺的核心驅(qū)動部件,它利用壓電效應在電場作用下產(chǎn)生形變。當在壓電陶瓷上施加電壓時,材料內(nèi)部的正負電荷會重新分布,產(chǎn)生應力,進而使材料發(fā)生形變。
特點:壓電陶瓷的形變量小但精度高,可以實現(xiàn)納米級的位移控制。
柔性鉸鏈機構(gòu):
功能:柔性鉸鏈機構(gòu)用于將壓電陶瓷產(chǎn)生的微小位移進行傳遞和放大,確保位移臺能夠?qū)崿F(xiàn)精確的位置移動。
特點:柔性鉸鏈機構(gòu)采用無摩擦設計,減小了位移過程中的能量損失和誤差,提高了位移臺的精度和穩(wěn)定性。
高精度傳感器:
類型:通常配備有超精密電容傳感器等高精度測量設備。
功能:用于實時監(jiān)測位移臺的位置變化,并將運動信息傳遞給控制系統(tǒng)。
特點:高精度傳感器具有高靈敏度和高分辨率,能夠準確反映位移臺的微小位移。
控制系統(tǒng):
功能:控制系統(tǒng)接收來自傳感器的運動信息,通過算法對運動進行修正、補償和控制,實現(xiàn)納米級精度的位移控制。
特點:控制系統(tǒng)采用閉環(huán)控制策略,確保位移臺在復雜環(huán)境條件下仍能保持高精度和穩(wěn)定性。

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