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淺談HMDS烘箱的應用

來源:愛義信工業(yè)科技(上海)有限責任公司   2025年07月19日 10:49  

HMDS烘箱主要用于半導體和微電子制造中的光刻工藝,具體應用如下:

1,去除光刻膠中的溶劑

預烘烤:在涂覆光刻膠后,HMDS烘箱通過加熱去除膠中的溶劑,增強膠與基底的附著力。

2,增強附著力

HMDS處理:HMDS作為増附劑,烘箱加熱使其與基底表面反應,形成化學鍵,提升光刻膠的附著力。

3,提高光刻精度

均勻加熱:烘箱提供均勻加熱,確保光刻膠厚度一致,減少缺陷,提升圖案精度。

4,工藝穩(wěn)定性

精確控溫:烘箱具備精確的溫度控制,確保工藝穩(wěn)定性和重復性。

5,提高生產效率

批量處理:可同時處理多個晶圓,提升生產效率

6,應用領域

半導體制造:用于晶圓上的光刻膠處理。

MEMS制造:在微機電系統中用于光刻工藝。

顯示技術:在LCD和OLED制造中用于光刻膠處理。

總結:   

HMDS烘箱在半導體和微電子制造中至關重要,通過去除溶劑、增強附著力、提升精度和穩(wěn)定性,確保光刻工藝的高效和可靠。

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