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FTPadv Expert 薄膜計量光譜反射儀軟件

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薄膜計量

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










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1. 產(chǎn)品概述

FTPadv Expert薄膜測量軟件具有FTPadv標(biāo)準(zhǔn)軟件中包含的用戶友好和以配方為導(dǎo)向的操作概念。突出顯示擬合參數(shù)、測量和計算的反射光譜以及主要結(jié)果的光學(xué)模型同時顯示在操作屏幕上。

2. 主要功能與優(yōu)勢

n、k 和厚度的測量

該軟件包設(shè)計用于 R(λ) 和 T(λ) 測量的高分析。

多層分析

可以測量單層薄膜和層疊的每一層的薄膜厚度和折射率。

大量的色散模型

集成色散模型用于描述所有常見材料的光學(xué)特性。通過使用快速擬合算法改變模型參數(shù),將計算出的光譜調(diào)整為測量的光譜。

3. 靈活性和模塊化

SENTECH FTPadv Expert 軟件包用于光譜數(shù)據(jù)的高分析,根據(jù)反射和透射測量結(jié)果確定薄膜厚度、折射率和消光系數(shù)。它擴(kuò)展了SENTECH FTPadv薄膜厚度探頭的標(biāo)準(zhǔn)軟件包,適用于更復(fù)雜的應(yīng)用,包括光學(xué)特性未知或不穩(wěn)定的材料??梢栽诠饣虼植?、透明或吸收性基材上測量單個透明或半透明薄膜的薄膜厚度、折射率和消光系數(shù)。該軟件允許分析復(fù)雜的層堆棧,并且可以確定堆棧的每一層的參數(shù)。

我們的FTPadv Expert薄膜測量軟件具有FTPadv標(biāo)準(zhǔn)軟件中包含的用戶友好和以配方為導(dǎo)向的操作概念。突出顯示擬合參數(shù)、測量和計算的反射光譜以及主要結(jié)果的光學(xué)模型同時顯示在操作屏幕上。

該軟件包包括一個大型且可擴(kuò)展的材料庫,該庫基于表格材料文件以及參數(shù)化色散模型。

FTPadv Expert 軟件可選用于膜厚探頭 FTPadv,以及反射儀 RM 1000 和 RM 2000 軟件包的一部分。



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