Kurt J. Lesker Company® NANO 36™ 是我們優(yōu)化的入門級(jí)沉積系統(tǒng)。我們的腔室設(shè)計(jì)特別適合手套箱集成。NANO 36 具有更高的功能和更小的占地面積，提供了實(shí)惠的價(jià)格點(diǎn)，同時(shí)保持了您期望從 KJLC 獲得的質(zhì)量。

NANO 36 與以下沉積技術(shù)兼容：

• 熱蒸發(fā)（最多四個(gè) 2 英寸船組件）。

• Torus® 磁控濺射源（最多三個(gè) 2“ 或 3” 源）。

• 1cc 或 10cc LTE 有機(jī)沉積源（最多四個(gè)）。

• 兩個(gè)熱源和兩個(gè) LTE 源的組合。

• 可根據(jù)要求提供定制配置。

KJLC的軟件允許用戶友好的配方創(chuàng)建，以及一個(gè)可靠、不間斷的處理模塊，無(wú)論計(jì)算機(jī)用戶界面的狀態(tài)如何，都可以完成過(guò)程。有關(guān)此直觀、且可靠的軟件包的更多信息，請(qǐng)參閱“軟件”選項(xiàng)卡。