自由曲面三維面型檢測儀

優(yōu)勢

√ 對各種自由曲面光學(xué)元件的表面進(jìn)行非接觸全口徑測量

√ 簡單、精確、快速、可重復(fù)的測量方式，表面無需噴粉處理

√ 自動完成數(shù)據(jù)比對分析誤差，完善的三維分析功能

測量功能

√ 三維面型數(shù)據(jù)測量

√ 面型逆向分析

√ 面型輪廓精度評價

適用對象

自由曲面反射鏡、曲面蓋板玻璃、精密模具、玻璃面板、透鏡、微透鏡陣列、 晶圓片等

測量原理

√ 結(jié)構(gòu)光反射三維重構(gòu)原理： 多相機(jī)拍攝經(jīng)被測鏡面反射的變形的結(jié)構(gòu)光圖案，通過重構(gòu)算法計算被測鏡面的三維面型，通過與理想面型數(shù)據(jù)進(jìn)行比對，獲得自由曲面的面型誤差分布和其它分析數(shù)據(jù)

√ 采用優(yōu)化系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計、高精度標(biāo)定方法和先進(jìn)的重構(gòu)算法實現(xiàn)高測量精度

從600mm口徑的大反射鏡，到1mm口徑的微透鏡陣列，自由曲面測量系統(tǒng)提供全面的面型測量能力。

測量分析軟件

具有豐富分析功能同時易用性強(qiáng)的三維測量分析軟件，包括： 三維輪廓誤差 PV、RMS、表面瑕疵、曲率、斜率、尺寸分析、各種多項式擬合、空間濾波和各類數(shù)據(jù)導(dǎo)出

自由曲面三維面型檢測儀