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Labcoater Series 300 Parylene派瑞林鍍膜機(jī)
- 公司名稱 那諾中國(guó)有限公司
- 品牌
- 型號(hào) Labcoater Series 300
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/18 17:43:26
- 訪問(wèn)次數(shù) 135
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ALD,PECVD,RIE,磁控濺射,熱蒸鍍,電子束,離子束,晶圓清洗機(jī),PA-MOCVD,飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)
Parylene派瑞林鍍膜機(jī)是一款多功能設(shè)備,專為實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用優(yōu)化設(shè)計(jì),配備內(nèi)置等離子體源,可用于材料表面預(yù)處理。通過(guò)Parylene涂敷后的產(chǎn)品具有高度的絕緣強(qiáng)度、耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤(rùn)滑、防塵、防水、防潮、防銹、透明、抗老化、生物相容性等作用。
該型號(hào)的Parylene派瑞林鍍膜機(jī)具有以下特點(diǎn):
1、Labcoater Series 300 既適用于科研實(shí)驗(yàn)室,也可用于生產(chǎn)環(huán)境;
2、特別針對(duì)中小型企業(yè)和研發(fā)團(tuán)隊(duì)的需求進(jìn)行功能優(yōu)化;
3、通過(guò)配置多種可選組件,進(jìn)一步提升設(shè)備的適用性與靈活性,其工藝腔室容積可根據(jù)需求調(diào)整,最小容積可達(dá) 251 L;
4、設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)配置包含等離子體處理模塊;
5、提供潔凈室專用版本供選擇;
6、可根據(jù)實(shí)際需要,在四種不同腔體容積中進(jìn)行選型。
Labcoater Series 300 派瑞林真空鍍膜設(shè)備:
尺寸 | L:1220mm W:1050mm H:1920mm |
重量 | 110kg |
腔體容量 | 25/35/40/80L |
工藝腔體 | 300mm ?,H: 300mm (25 Liter) 300mm ?,H: 350mm (35 Liter) 450mm ?,H: 500mm (80 Liter |
等離子源 | 2.45GHz,600 W |
氣路 | 1 路氣體通道(內(nèi)置工藝腔室的氣體分配系統(tǒng)),最多可擴(kuò)展至 3 路氣體通道。 |
冷卻系統(tǒng) | 4L(機(jī)電式冷阱) |
真空系統(tǒng) | DIN 40 ISO-KF |
排氣 | 電磁式排氣閥 |
真空泵 | 抽速50m3/h |
電氣連接 | 三相五線制,交流 50 Hz,電壓 400 V / 240 V,最大功率消耗 8.5 kW |
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