進口parylene派瑞林鍍膜設備Series 3000 CR系統(tǒng)專為需在潔凈室環(huán)境中運行的工藝應用而設計。廣泛應用于多個行業(yè)，包括航天航空、半導體、新能源、軍工、汽車、手機、新型顯示、電子元器件、光通訊、軌道交通、3C數(shù)碼及電子等領域。通過Parylene涂敷后的產(chǎn)品具有高度的絕緣強度、耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤滑、防塵、防水、防潮、防銹、透明、抗老化、生物相容性等作用。

Series 3000 CR系統(tǒng)一體化泵架能夠顯著減少顆粒物排放，從而為潔凈室在最嚴苛的環(huán)境下提供更為清潔和緊湊的整體解決方案。  因在小占地面積下提供高性能技術，節(jié)約大量的超凈間占地空間，該系統(tǒng)已被全球眾多潔凈室設施，例如醫(yī)藥、航空航天、汽車、高科技電子及高等院校廣泛采用，且其應用范圍與使用數(shù)量仍在持續(xù)增長。

Series 3000 CR系統(tǒng)具有以下優(yōu)勢：

具備模塊化組裝結構，并提供可調節(jié)尺寸的工藝腔室；

系統(tǒng)支持多種可選配置，包括轉盤裝置及適配不同基板類型的夾具；

工藝腔室的裝載操作于潔凈室內完成；

卸載則通過位于過渡區(qū)域（灰區(qū)）的氣閘門實現(xiàn)。

進口parylene派瑞林鍍膜設備Series 3000 CR

我們提供的Parylene派瑞林真空鍍膜設備既有適用于科研領域的實驗型機型，也有適用于工業(yè)量產(chǎn)領域的工業(yè)機型。同時，我們也可以根據(jù)需求在真空腔體中集成等離子源，實現(xiàn)在沉積之前能夠對基材進行表面化處理，從而提高薄膜的粘附性。另外，我們也可以提供適用于超凈間使用的系統(tǒng)設計，在小占地面積下提供高性能技術，節(jié)約大量的超凈間占地空間。

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