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瑞士VAT UHV系列超高真空閥門

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  • 上海茂碩機械設備有限公司
  • 2025-07-10 13:28:16
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【簡單介紹】

應用領域 化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合
瑞士VAT UHV系列超高真空閥門
以下是關于 VAT UHV系列超高真空閥門 的詳細技術解析，涵蓋其特性、參數(shù)及應用場景，適用于半導體、科研等嚴苛環(huán)境：

【詳細說明】

瑞士VAT UHV系列超高真空閥門

一、UHV系列核心特性

1. 產(chǎn)品定位

  • 類型：全金屬密封超高真空閥（Ultra-High Vacuum Valve）

  • 適用真空范圍：

    • 標準版：10?? ~ 10?12 mbar

    • 定制版：可達10?13 mbar（特殊烘烤設計）

  • 核心優(yōu)勢：

    • 零泄漏：金屬密封漏率 <1×10?12 mbar·L/s（He檢漏）。

    • 耐高溫烘烤：閥體可承受 250°C~300°C 烘烤（標準版）/ 450°C（定制版）。

    • 無有機材料：全金屬結(jié)構(gòu)，避免放氣污染。

2. 設計

  • 雙密封系統(tǒng)：主密封（金屬刀口） + 次級密封（彈性補償）。

  • 低扭矩驅(qū)動：磁耦合或波紋管傳動，避免軸封泄漏。

  • 材料純度：316L不銹鋼（EP級電解拋光），表面粗糙度<0.8μm。

二、型號分類與技術參數(shù)

1. 型號命名規(guī)則（以VAT UHV 24為例）

代碼段含義
UHV系列名稱（超高真空閥）
24通徑尺寸（24=DN40，54=DN100）
后綴驅(qū)動方式（如-M=手動，-A=氣動）

2. 子型號對比表

型號通徑法蘭類型驅(qū)動方式漏率烘烤溫度價格范圍（￥）
VAT UHV 24-ADN40CF-F氣動<1×10?12 mbar·L/s250°C50,000~80,000
VAT UHV 54-MDN100ISO-K手動<1×10?12 mbar·L/s300°C120,000~180,000
VAT UHV 10-EDN16ICF電動<1×10?13 mbar·L/s450°C（定制）200,000+

3. 詳細技術參數(shù)

參數(shù)標準值/范圍
真空性能
- 漏率<1×10?12 mbar·L/s（He檢漏）
- 耐壓差10?12 mbar ~ 大氣壓
機械性能
- 閥體材質(zhì)316L不銹鋼（EP級）
- 密封材質(zhì)銅/鋁鍍金或無氧銅
- 循環(huán)壽命>50,000次（金屬密封）
電氣/氣動參數(shù)
- 驅(qū)動方式氣動（0.5~0.7MPa）/電動（24V DC）
- 響應時間氣動版≤1s，電動版≤5s
環(huán)境適應性
- 烘烤溫度標準250°C，定制450°C
- 耐腐蝕性兼容H?、O?、等離子體（需選配鍍層）

三、典型應用場景

1. 半導體制造

  • 應用：

    • 刻蝕機/離子注入機的腔體隔離（防顆粒污染）。

    • 分子束外延（MBE）系統(tǒng)的超高真空維持。

  • 型號推薦：

    • VAT UHV 24-A（DN40，氣動快速隔離）。

2. 科研裝置

  • 應用：

    • 同步輻射光源的束線控制。

    • 核聚變裝置（如托卡馬克）的真空分段。

  • 型號推薦：

    • VAT UHV 54-M（DN100，手動可靠密封）。

3. 航天與鍍膜

  • 應用：

    • 衛(wèi)星推進劑儲罐的真空密封測試。

    • 光學鍍膜機的腔體壓力調(diào)節(jié)。

  • 型號推薦：

    • VAT UHV 10-E（DN16，電動精密控制）。

四、選型與安裝要點

1. 選型關鍵因素

  • 通徑需求：根據(jù)流量計算（如DN40對應約20 L/s @10?? mbar）。

  • 驅(qū)動方式：

    • 氣動：快速開關（適合安全隔離）。

    • 電動：可集成自動化控制（如PLC）。

  • 法蘭標準：

    • CF法蘭：超高真空（金屬密封）。

    • ICF法蘭：極小漏率需求（如10?13 mbar）。

2. 安裝規(guī)范

  • 清潔要求：

    • 安裝前用丙酮/酒精清潔法蘭面（戴無塵手套）。

  • 扭矩控制：

    • CF法蘭螺栓需按對角線分步擰緊（DN40推薦8~10 Nm）。

  • 烘烤建議：

    • 以10°C/min速率升溫至250°C，保溫48小時。

五、維護與故障處理

故障現(xiàn)象可能原因解決方案
漏率超標密封面劃傷/顆粒污染重新拋光密封面或更換閥座
閥門卡滯高溫變形/潤滑不足使用高溫潤滑脂（如Apiezon N）
驅(qū)動失效電磁閥故障（氣動版）檢查氣源壓力（≥0.5MPa）

瑞士VAT UHV系列超高真空閥門



    
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