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目錄:北京儀光科技有限公司>>三維光學(xué)輪廓儀>>Sensofar>> S neox西班牙Sensofar相位差干涉模式介紹

西班牙Sensofar相位差干涉模式介紹
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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
800000
≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) S neox
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 北京市
屬性

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西班牙Sensofar相位差干涉模式介紹Sensofar 表面輪廓儀 S neox的光學(xué)干涉技術(shù)Sensofar 白光干涉S neox儀高數(shù)值孔徑物鏡 的一大核心亮點(diǎn)。在其傳感器頭中,巧妙集成了干涉、共聚焦、Ai 多焦面疊加和膜厚測(cè)量等多種*測(cè)量技術(shù)。只需輕松點(diǎn)擊一次,系統(tǒng)便能依據(jù)當(dāng)前測(cè)量任務(wù)的具體需求,自動(dòng)智能地切換到較為適配的優(yōu)良技術(shù)。

西班牙Sensofar相位差干涉模式介紹

西班牙Sensofar公司推出的S neox是一款高精度的三維共聚焦白光干涉儀,廣泛應(yīng)用于表面形貌測(cè)量領(lǐng)域。該設(shè)備集成了多種*的測(cè)量技術(shù),包括白光干涉模式、相位差干涉模式、共聚焦模式和多焦面疊加模式,能夠滿足不同材質(zhì)、結(jié)構(gòu)、表面粗糙度和波度的測(cè)量需求。

一、白光干涉模式(VSI)

白光干涉模式(Vertical Scanning Interferometry, VSI)是一種基于白光干涉原理的測(cè)量技術(shù),適用于光滑表面或適度粗糙表面的高度測(cè)量。其工作原理是通過(guò)將樣品表面與參考鏡面之間的光程差轉(zhuǎn)換為干涉條紋的對(duì)比度變化,從而獲取表面高度信息

。在VSI模式下,S neox能夠提供納米級(jí)的縱向分辨率,且在任何放大倍數(shù)下都能保持這一精度。此外,VSI模式的測(cè)量范圍理論上是無(wú)限的,但在實(shí)際應(yīng)用中受限于物鏡的工作距離

。該模式特別適用于需要高精度測(cè)量的場(chǎng)合,如半導(dǎo)體制造、光學(xué)元件加工等

西班牙Sensofar相位差干涉模式介紹

二、相位差干涉模式(PSI)

相位差干涉模式(Phase Shift Interferometry, PSI)是一種亞納米級(jí)精度的測(cè)量技術(shù),主要用于測(cè)量非常光滑和連續(xù)的表面高度。PSI的工作原理是通過(guò)引入已知的相位差,使樣品表面的光程差發(fā)生變化,從而形成干涉條紋。通過(guò)分析這些干涉條紋的變化,可以精確地計(jì)算出樣品表面的高度信息

。PSI模式的優(yōu)勢(shì)在于其在任何放大倍數(shù)下都能提供亞納米級(jí)的縱向分辨率,即使使用2.5倍的鏡頭也能實(shí)現(xiàn)大視場(chǎng)范圍內(nèi)的高精度測(cè)量。此外,PSI模式還能夠測(cè)量具有較大斜率的表面,如70°的光滑表面

。這種模式特別適用于需要精度的表面測(cè)量,如精密光學(xué)元件、半導(dǎo)體晶圓等

西班牙Sensofar相位差干涉模式介紹


三、共聚焦模式

共聚焦模式是一種基于共聚焦原理的測(cè)量技術(shù),能夠提供高橫向分辨率的表面形貌測(cè)量。共聚焦技術(shù)通過(guò)將樣品表面的光束聚焦到一個(gè)點(diǎn),并通過(guò)檢測(cè)反射光的強(qiáng)度來(lái)確定表面高度

。S neox的共聚焦模式具有高達(dá)0.10um的橫向分辨率,適用于臨界尺寸測(cè)量,Z軸測(cè)量重復(fù)性在納米級(jí)別。該模式特別適用于測(cè)量高斜率表面,如70°的光滑表面

。此外,共聚焦模式還能夠提供真彩色圖像,使用戶能夠直觀地觀察樣品的表面細(xì)節(jié)。

四、多焦面疊加模式

多焦面疊加模式(Multi-Focus Superposition, MFSP)是一種用于測(cè)量非常粗糙表面的*技術(shù)。該模式通過(guò)在不同焦距下采集多個(gè)圖像,并將這些圖像疊加起來(lái),以獲得更全面的表面形貌信息

。MFSP模式的優(yōu)勢(shì)在于其快速掃描能力和大掃描范圍,能夠快速測(cè)量大面積的表面形貌

。此外,該模式還支持高達(dá)86°的斜率測(cè)量,適用于工件和模具的測(cè)量

。MFSP模式特別適用于需要快速測(cè)量大面積表面的場(chǎng)合,如汽車零部件、建筑石材等

西班牙Sensofar相位差干涉模式介紹

五、干涉原理

干涉原理是S neox的核心技術(shù)之一,它通過(guò)將樣品表面的光程差與參考鏡面的光程差進(jìn)行比較,從而獲取表面高度信息。干涉儀中,光束穿過(guò)分光鏡,分別照射到樣品表面和一個(gè)內(nèi)置的參考鏡片,兩路光線反射后形成干涉條紋

。通過(guò)分析這些干涉條紋的變化,可以精確地計(jì)算出樣品表面的高度信息。干涉技術(shù)的優(yōu)勢(shì)在于其高精度和高分辨率,能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級(jí)的縱向分辨率

。此外,干涉技術(shù)還能夠測(cè)量各種表面的微幾何和納米幾何結(jié)構(gòu),適用于從極粗糙到高反射表面的測(cè)量。

六、八部位移法

八部位移法(Eight-Step Phase Shifting)是一種用于提高干涉測(cè)量精度的技術(shù)。該方法通過(guò)引入八個(gè)不同的相位差,使樣品表面的光程差發(fā)生變化,從而形成干涉條紋。通過(guò)分析這些干涉條紋的變化,可以更精確地計(jì)算出樣品表面的高度信息。八部位移法的優(yōu)勢(shì)在于其能夠有效減少測(cè)量誤差,提高測(cè)量精度。該方法特別適用于需要高精度測(cè)量的場(chǎng)合,如精密光學(xué)元件、半導(dǎo)體晶圓等

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七、總結(jié)

西班牙Sensofar S neox是一款集成了多種*測(cè)量技術(shù)的高精度三維共聚焦白光干涉儀。它通過(guò)白光干涉模式、相位差干涉模式、共聚焦模式和多焦面疊加模式,能夠滿足不同材質(zhì)、結(jié)構(gòu)、表面粗糙度和波度的測(cè)量需求。S neox的干涉原理基于光程差的測(cè)量,能夠提供亞納米級(jí)的縱向分辨率,適用于各種表面的高精度測(cè)量。此外,S neox還采用了八部位移法,進(jìn)一步提高了測(cè)量精度。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥、能源等領(lǐng)域,是現(xiàn)代精密測(cè)量技術(shù)的重要工具

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